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机器人近日接受机构调研时表示，2022年公司半导体洁净机械手系列的部分型号产品已通过验证并实现批量生产；部分新型产品实现了小批量验证与交付；EFEM产品的核心部件实现了自主设计；真空传输平台也已初步实现了进口替代。公司半导体装备业务获得订单的能力在持续提升，业务扩展速度明显。目前公司半导体装备业务的订单主要来自行业内的头部客户。未来公司也将持续加大对半导体装备业务的投入力度，深入与战略客户的合作，加速推进产品的国产化进程。